根据《关于支持集成电路产业和软件产业发展进口税收政策的通知》（财关税〔2021〕4号），自2021年4月1日起，废止。
关于部分集成电路生产企业进口净化室专用建筑材料等物资税收政策问题的通知
2002年9月26日 财税[2002]152号
海关总署，信息产业部：
经国务院批准，现对部分集成电路生产企业进口净化室专用建筑材料、配套系统和集成电路生产设备零、配件的税收政策通知如下：
一、自2001年1月1日起，对在中国境内设立的投资额超过80亿元或集成电路线宽小于0.25微米的集成电路生产企业进口本通知附件所列净化室专用建筑材料、配套系统和集成电路生产设备零、配件，免征关税和进口环节增值税。
二、符合免税条件的集成电路生产企业名单由国家计委审核确定并通知海关总署，同时抄送财政部。海关对上述企业进口的净化室专用建筑材料、配套系统和集成电路生产设备零、配件按照本通知附件所列商品目录办理免税手续，并做好后续监管工作。
三、附件2所列商品目录包括税则号列和商品名称。海关审核该类进口商品免税时，如遇商品名称和税则归类与本文规定不一致时，以本文所列的商品名称为准。
四、附件所列商品目录将适时进行调整，由信息产业部会同国家计委、财政部、海关总署、国家税务总局等有关部门提出意见，报国务院批准后实施。
五、海关总署对享受该政策的年度实际进口数量应及时抄送财政部。
特此通知。
附件：1.部分集成电路生产企业免税进口净化室专用建筑材料、配套系统商品目录
2.部分集成电路生产企业免税进口集成电路生产设备零、配件商品目录
抄送： 国家计委，国家经贸委，外经贸部，国家税务总局。
附件1：
部分集成电路生产企业免税进口净化室专用建筑材料、配套系统商品目录
序号 商品名称 英文名称 进口原因(技术规格说明)及用途
1 小型无尘室 国内无生产
2 净化厂房(室)钢结构用配套其他无螺纹紧固件(剪力钉) Shear Studs 国内无生产
3 防火漆 Fire Proofing Paint 需FM(factorymutual)认证国内没有生产
4 环氧树脂(需通过FM认证) Epoxy Zinc PhosphatePrimer，EP66 Paint： 需FM认证国内没有生产
5 表面色涂料(不发尘)／上色漆 国内无生产
6 净化室建材用调制胶及粘合剂(导电胶，密封胶，胶水，洁净强力胶，固定胶，洁净细胶) Conductive Floor Tile 特殊无尘及防静电材质，国内产品目前无验证资料
7 涂布层尘用硬化剂 Hardener for Epoxy 国内无生产
8 有机玻璃板 防静电、防灰尘微粒、无尘室专用，国内无生产，规格为0.8m－1.2m×0.8m－1.2m
9 净化厂房(室)玻璃门及配件 国内无生产
10 净化室气密门窗及框架(钢制品) 国内无生产
11 避震弹簧／避抓弹簧 国内无符合技术标准、型号产品
12 铝合金制门 防静电、防灰尘微粒、无尘室专用，国内无符合技术标准、型号产品(规格为0.9m－2.4m×2.2m等)
13 净化室高架地板(铝合金) Aluminum Alloy RaisedFloor／Raised Floor 特殊无尘及防静电材质，国内产品目前无验证资料
14 防静电地板(铝合金) Aluminum ESDFloor 特殊无尘及防静电材质，国内产品目前无验证资料
15 铝合金制结构体／铝合金制吊顶结构体 防静电、防灰尘微粒；无尘室专用，国内无符合技术标准、型号产品(规格为2.5m－6m×1.0m－1.2m等)
16 铝合金吊顶龙骨及封盖(净化室悬吊系统)及相关配件 国内无符合技术标准、型号产品
17 铝合金制高架地板(成品) 国内无符合技术标准、型号产品
18 铝合金龙骨 防静电、防灰尘微粒、无尘室专用，国内无符合技术标准、型号产品60cm×60cm(误差0.1cm)
19 铝制隔板／铝制面板／铝合金制面板(成品) 防静电、防灰尘微粒、无尘室专用，国内无符合技术标准、型号产品60cm×l20cm，90cm×l20cm，90cm×75cm，75cm×120cm等
20 净化室隔间板及门 国内无符合技术标准、型号产品
21 铝制隔墙及支撑件 国内无符合技术标准、型号产品
22 铝制连接铰链及螺丝 国内无符合技术标准、型号产品
23 铝制蜂窝板及附件 国内无符合技术标准、型号产品
24 钢制防水板 国内无生产
25 净化室隔间板(钢制品)及其辅件 Clean Room Partition／door 表面具导电性自身不生尘之隔间板及门，国内无经技术认定产品
26 净化室隔间板(铝合金)及其辅件(厚＞0.35mm) Clean Room Partition／Door 表面具导电性自身不生尘之隔间板及门，国内无经技术认定产品
27 净化室隔离板(铝合金)结合组件 Hardware(Doors) 表面具导电性自身不生尘之隔间板及门，国内无经技术认定产品
28 净化室铝合金及钢材专用备件及相关零配件 国内无生产
29 静电消除器 Ionizer 清除静电
30 有机玻璃制品(成品) 防静电、防灰尘微粒、无尘室专用，国内无生产
31 防水卷材 Water Proofing Menbrane 国内产品目前无验证资料
32 钢制品吊顶龙骨封盖及相关零配件 配套产品，特殊构造及不发尘、不吸尘材质，国内产品目前无验证资料
33 预滚涂铝板 Prepainted Aluminum Panels 为避免大面积立面产生色差
34 净化室隔离板结合组件(金属) 国内无符合技术标准、型号产品
35 净化室内自动闭门器 国内无符合技术标准、型号产品
36 净化室高架地板(钢制品) 国内无符合技术标准、型号产品
37 橡胶导电地板 国内无符合技术标准、型号产品
38 抗静电聚氯乙烯(PVC)／玻璃塑料视窗板 Antistatic PVC Plate，Door／Wall Glazing 特殊无尘及防静电材质，国内产品目前无验证资料
39 导电铜箔胶带 Copper Tape 特殊无尘及防静电材质，国内产品目前无验证资料
40 不锈钢安全网 SUS Safety Net 特殊无尘，国内产品目前无验证资料
41 高架地板下方气密隔板 Under Raised Floor Divider 配套产品，特殊构造及不发尘、不吸尘材质，国内产品目前无验证资料
42 聚氯乙烯(PVC)导电地砖 Conductive Floor Tile 特殊无尘及防静电材质，国内产品目前无验证资料
43 净化室(无尘室)专用特制防震机座(特殊混凝土不锈钢结构) 国内无符合技术标准、型号产品
44 净化室气密门窗及框架(铝制品) 国内无符合技术标准、型号产品
45 放电灯管 Tear-Drop Lighting Fixture 配套产品，特殊构造、不吸尘材质，国内产品目前无验证资料
46 封闭私聚光管灯 Lighting 配套产品，特殊构造、不吸尘材质，国内产品目前无验证资料
47 其他类型灯 Exit／Direction LightingFixture 配套产品，特殊构造、不吸尘材质，国内产品目前无验证资料
48 紫(红)外线灯管(泡) Surface Mounted Lighting 配套产品，特殊构造、不吸尘材质，国内产品目前无验证资料
49 抗静电强化玻璃 Anti-Static Tempered Glass 国内无生产
50 特氟龙管材连接硅胶 国内无符合技术标准、型号产品
51 无尘防爆型灯具及配件 国内无符合技术标准、型号产品
52 离子发生器 Ionizer 国内无符合技术标准、型号产品
53 净化室专用特制方针机座(特殊混凝土不锈钢结构) 国内无符合技术标准、型号产品
54 管吊架，避震弹簧，电木／橡塑发泡，支撑管垫 国内无符合技术标准、型号产品
55 酸式洗涤器用塑料制零部件／有机存储槽 国内无符合技术标准、型号产品
56 醋酸纤维制过滤膜(无孔，利用分子间隙过滤) 国内无符合技术标准、型号产品
57 塑料制导电地板贴面 国内无符合技术标准、型号产品
58 塑料制电缆护套 国内无符合技术标准、型号产品
59 塑料制风口及其支撑件 国内无符合技术标准、型号产品
60 塑料制龙骨封条 国内无符合技术标准、型号产品
61 特氟龙塑料制风口 国内无符合技术标准、型号产品
62 冷轧不锈钢无缝管(电子抛光不锈钢) 无缝，高光洁度，国内无符合技术标准、型号产品316LBA&EP不锈钢管，平均表面粗糙度Ra：BA＜10u"，EP＜3u"；最大表面粗糙度Rmax：BA＜3um，EP＜0.7um。使用管径1／8"，1／4"，3／8"，1／2"，5／8"，3／4"，15A，25A，40A，50A，65A，80A，100A，125A，200A，250A，300A等
63 冷轧不锈钢无缝管(铁或非合金钢) 无逢，耐压力达到10公斤以上，国内无符合技术标准、型号产品
64 冷轧不锈钢无缝管(其他合金钢) 无缝，耐压力达到10公斤以上，国内无符合技术标准、型号产品
65 非冷轧不锈钢无缝管 无缝，国内无符合技术标准、型号产品
66 不锈钢焊缝管(成品) 随系统整体引进，国内无符合技术标准、型号产品
67 不锈钢直管、弯管、连接件 随系统整体引进，国内无符合技术标准、型号产品
68 钢制风口及其支撑件和附件 随系统整体引进，国内无符合技术标准、型号产品
69 铜管 国内无符合技术标准、型号产品
70 风机盘管 冷却用，国内无符合技术标准、型号产品
71 空调箱系统及其零配件，包括空调系统盘管、挡水板、防潮器、连接件 国内无符合技术标准、型号产品
72 冷却盘管(成品) 国内无符合技术标准、型号产品
73 过滤器／高效过滤器／Y型过滤器 国内无符合技术标准、型号产品
74 过滤、净化器分配装置及其附件(过滤器用冷盘管) 国内无符合技术标准、型号产品
75 酸式洗涤器 国内无符合技术标准、型号产品
76 传感器 国内无符合技术标准、型号产品
77 橡胶软管／防震软管 Expansion Joint 管路伸缩保护用，国内无符合技术标准、型号产品
78 钢制软管／防震软管 Flexible Pipe Connector 冰水系统用，国内无符合技术标准、型号产品
79 工艺排气处理装置(一般，有机及酸碱废气洗涤) General Process ExhaustFan 国内产品目前无验证资料，国内无符合技术标准、型号产品
80 溶剂废气处理装置 VOC Abatmaent Device(Contain Fan and VFD) 工艺排气处理，国内无符合技术标准、型号产品
81 温度传感器 国内无符合技术标准、型号产品
82 水及其他蒸汽动力装置的冷凝器 Deaerator 厂区供热系统用以除去水中氧气，国内无符合技术标准、型号产品
83 其他辅助设备备用零件 Steam de-temp，Device 厂区供热系统减温用，国内尤符合技术标准、型号产品
84 油泵 Oil Pump 冰水制造，国内无符合技术标准、型号产品
85 电动风门，气动控制风门，防火风门，排气风门 Motorized Damper，Penumatic Damper，FireDamper，Air Damper 空调管道风系统控制用，防火风门(FM)，国内无符合技术标准、型号产品
86 变风量控制箱及配件 VAV Box System 办公环境空调用(控制风量0－100％±3％)，国内无符合技术标准、型号产品
87 不锈钢排气风管(内衬特氟龙)及配件 国内无符合技术标准、型号产品
88 不锈钢排气风管(内衬特氟龙)及配件(非圆型截面) 国内无符合技术标准、型号产品
89 工艺排气处理装置(一般，有机及酸碱废气洗涤) 国内无符合技术标准、型号产品
90 真空泵 Steam System Pumps 蒸汽系统水力输送用，国内无符合技术标准、型号产品
91 工艺用真空设备及附件 Process Vacuum Pump& Auxiliary Equipments 生产工艺设备用，国内无符合技术标准、型号产品
92 风机 Fan 工艺送排气处理(35000－130000CMH，静压达8"WG)
93 风淋室 Air Shower 生产环境人员洁净控制用，国内无符合技术标准、型号产品
94 冷却塔 Cooling Tower 国内无符合技术标准、型号产品
95 冷水机组(冰水主机) Chiller 冰水制造，国内无符合技术标准、型号产品
96 工艺冷却水系统 Process Cooling Water System 提供工艺冷却水给无尘设备用，国内无符合技术标准、型号产品
97 防火填塞 Fire Barrier Sealing 冰水系统用防堵性材料，需符合UL／FM认证，国内无符合技术标准、型号产品
98 冷媒(制冷剂) Refrigerant 冰水制造，国内无符合技术标准、型号产品
99 热交换装置 Heat Exchanger 热能转换，国内无符合技术标准、型号产品
100 保温材料(橡胶，泡棉，玻璃纤维，铝制层) Insulation 管路保温用，国内无符合技术标准、型号产品
101 管阀及配们： Valve 管道流体控制用，国内无符合技术标准、型号产品
102 风机过滤器 Fan Filter Unit 生产环境洁净度控制，国内无符合技术标准、型号产品
103 干盘管(冷却盘管) Dry Coil 生产环境空调用，国内无符合技术标准、型号产品
104 高效率过滤网(筛)／超高效率过滤网(筛)／油过滤网(筛)／充填过滤筛网 HEPA／ULPA Filter 0.12um空气过滤器，过滤有效率达到99.9999％，生产环境洁净度控制，国内无符合技术标准、型号产品
105 管道过滤单元(过滤网) Filter 冰水系统用，国内无符合技术标准、型号产品
106 水洗台 国内无符合技术标准、型号产品
107 卸货平台 Docklevelers 承载设备，国内无符合技术标准、型号产品
108 滑升门 Sectional Doors 承载设备，国内无符合技术标准、型号产品
109 工艺排气处理装置(一般，有机及酸碱废气洗涤) 国内无符合技术标准、型号产品
110 加湿器及其配件(配管、喷嘴) Steam Type Humidifier 空调湿度保持，国内无符合技术标准、型号产品
111 消音箱 Sound Attenuating Chamber 生产环境噪音控制，国内无符合技术标准、型号产品
112 避震器(管吊架，避震弹簧，电木／橡塑发泡，支撑管垫) Shock Absorber 冰水系统用，国内无符合技术标准、型号产品
113 自动释气阀 Air Vent 管路排气用，国内无符合技术标准、型号产品
114 风机过滤器监控装置 Fan Filter Units Controland Monitor 生产环境洁净度控制，国内无符合技术标准、型号产品
115 控制器 Actuator 控制温湿度稳定(控制精度Temp22±0.5℃，RH43±3％)
116 变风量控制箱及配件 国内无符合技术标准、型号产品
117 疏水器 Steam Trap 管道系统用，国内无符合技术标准、型号产品
118 洁净室专用接地电线及配件 Clean Room Grounding System 特殊设计接地材料，国内无经技术认定产品
119 空气洗涤器 Air Washer 国内无生产，国内无符合技术标准、型号产品
120 不锈钢风门，不锈钢内衬特氟龙风门 Stainless Steel Damper，Stainless 工艺排气管道用，国内无符合技术标准、型号产品
121 沸石转轮 Rotator 环境保护防治设施，国内无符合技术标准、型号产品
122 燃烧炉 Flammable Oven 环境保护防治设施，国内无符合技术标准、型号产品
123 燃烧器 Flammable Device 环境保护防治设施，国内无符合技术标准、型号产品
124 无尘室用高速洗手干燥机 国内无生产，国内无符合技术标准、型号产品
125 冷冻机组／冷冻蒸发器 国内无生产，国内无符合技术标准、型号产品
126 真空系统(不含微机和外设) House Vacuum System 无尘室洁净用，国内无符合技术标准、型号产品
127 接液盘 国内无符合技术标准、型号产品
128 有载调压开关(高压) 国内无符合技术标准、型号产品
129 电缆终端 国内无符合技术标准、型号产品
130 发电机用零件 发电装置，达到电压时间为15秒，国内无法达到多台发电机的群控并联方式，国内无符合技术标准、型号产品
131 空气滤清器 空气滤清装置，国内无符合技术标准、型号产品
132 离合器 机械耦合装置，国内无符合技术标准、型号产品
133 逆变器 国内无符合技术标准、型号产品。
134 充电器 操作电源，用于电气真空开关柜稳定的控制电源，国内无符合技术标准、型号产品
135 电瓶组 操作电源，用于电气真空开关柜稳定的控制电源，国内无符合技术标准、型号产品
136 电容器 用于改善电气设备功率因素，与配电柜一起进口，电压范围300kW－1500kW，国内无符合技术标准、型号产品
137 电路的开关，保护或连接用的电气装置／断路器 功率因素改善用，国内无符合技术标准、型号产品
138 避雷器 电源断开设备，国内无符合技术标准、型号产品
139 保护电驿(保护用继电器) 线路保护装置，国内无符合技术标准、型号产品
140 并联开关盘(电气控制及电力分配的盘，台，柜)／马达控制盘／配电盘 发电开关装置，国内无符合技术标准、型号产品
141 马达变频控制器 Power Panel MCC 功率因素改善用，国内无符合技术标准、型号产品
142 用于电器控制或电力分配的盘、板、台、柜及其他基座的零件 国内无符合技术标准、型号产品
143 六氟化硫气体及充填装置 绝缘用气体，国内无符合技术标准、型号产品
144 感应耦合器 诸能装置，国内无符合技术标准、型号产品
145 司步机 整流装置，国内无符合技术标准、型号产品
146 电力系统用电缆及辅料 电源用电缆及零料，国内无符合技术标准、型号产品
147 多功能电表 功能指示装置，国内无符合技术标准、型号产品
148 滤波器 国内无符合技术标准、型号产品
149 自动功率因素调整器 功率因素改善装置，国内无符合技术标准、型号产品
150 自我保护装置(过磁保护电驿，差动保 Protection System 国内无符合技术标准、型号产品
护，接地故障保护瞬动，接地故障延时
过流，过电压及低电压保护电驿)
151 二氧化碳喷淋系统(不含微机和外设) 国内无符合技术标准、型号产品
152 有机储存槽 国内无符合技术标准、型号产品
153 塑料制、聚乙烯(PVC)、偏聚二氟乙烯，特氟龙制、聚偏二氟乙烯、透明聚氯乙烯、聚丙烯、连接件管件及其附件；净化室防电击软管 高纯度电子级／耐高温，耐强酸碱
154 设备安装用气体、化学品管子(不锈钢304、316材料)，连接件及配件 国内无符合技术标准、型号产品
155 阀门，控制阀(及其配件) Valve 管道冰水控制用，国内无符合技术标准、型号产品
156 气体探测头／气体侦测器侦测头 国内无符合技术标准、型号产品
157 石英管推车 用于搬运工艺用石英管，附防尘、防震装置，国内无符合技术标准、型号产品
158 运酸台车 用于搬运工艺用酸性材料，附防尘装置，国内无符合技术标准、型号产品
159 桌上型氟离子测量仪 国内无符合技术标准、型号产品
160 离子交换树脂(颗粒状)／交换树脂 国内无符合技术标准、型号产品
161 塑料制／特氟龙制储藏罐 储藏高纯度化学品(316低碳不锈钢)国内无符合技术标准、型号产品
162 石英管柜 国内无符合技术标准、型号产品
163 盛装物料用的钢铁槽、桶及类似容器(容积＞300升) 采用316低碳不锈钢，国内无符合技术标准、型号产品
164 盛装物料用的钢铁槽、桶及类似容器(容积50升－300升) 国内无符合技术标准、型号产品
165 盛装物料用的钢铁槽、桶及类似容器(容积＜50升) 国内无符合技术标准、型号产品
166 装压缩或液化气的钢铁容器 国内无符合技术标准、型号产品
167 混合机件及其相关配件 Agitator／Mixer／Fan／Blower and Accessory 超细晶片研磨液加水或双氧水后，稀释、搅拌混合装置。国内无符合技术标准、型号产品
168 紫外线灯单元模块及其相关配件 UV Unit／Accessory 国内无符合技术标准、型号产品
169 监测仪器及其相关配件 Analysis lnstruments／Accessory 国内无符合技术标准、型号产品
170 逆渗透单元组及其相关配件 Reverse Osmosis(RO)Unit／Accessory 国内无符合技术标准、型号产品
171 水系统动力控制单元及其相关配件 Power & Control Unit／Accessory 国内无符合技术标准、型号产品
172 真空脱气模块及其相关配件 Membrane Degasified Unit & Accessory 国内无符合技术标准、型号产品
173 超过滤模块及其相关配件 Ultrafitration Unit／Accessory 国内无符合技术标准、型号产品
174 多层过滤塔及其相关配件 Multi Media Fittcr／Accessory 国内无符合技术标准、型号产品
175 活性碳过滤塔及其相关配件 Active Carbon Filter／Accessory 国内无符合技术标准、型号产品
176 文丘利供液装置 Ejector 国内无符合技术标准、型号产品
177 真空脱气模块 Membrane DegasifyModule 国内无生产／整体系统引进
178 减速机(不锈钢304材质) Reducer 国内无符合技术标准、型号产品
179 滤心 Filter 整体系统引进／国内产品目前无验证资料
180 石英砂 Sillicon Sand 国内无符合技术标准、型号产品
181 活性碳 Active Carbon 国内无符合技术标准、型号产品
182 桶，槽容器(玻璃钢制品)(聚二氟乙烯衬里) FRP Material 盛装高纯度化学晶，防污染，国内无生产，整体系统引进
183 密封件(材质丁氰橡胶／聚四氟乙烯／聚二氟乙烯／不锈钢316／不锈钢304) Packing(EPDM／PTFE／PVDF／SUS316／Viton／SUS304) 整体系统引进，国内产品目前无验证资料
184 过滤填充料 Gravel 国内无符合技术标准、型号产品
185 目视玻璃窗 Sight Glass 采用可绝缘、隔热且具有良好抗静电特殊材质，用于纯水系统的离子交换树脂塔目视窗，国内无符合技术标准、型号产品
186 桶，槽容器(不锈钢制品)(聚二氟乙烯衬里) 国内无符合技术标准、型号产品
187 空气泵或真空泵，空气及其他气体压缩机，风机及风扇，防爆风车 Blower 整体系统引进，国内产品目前无验证资料
188 真空泵相关配件 Accessory 国内无符合技术标准、型号产品
189 过滤器(材质不锈钢304／不锈钢316) Filter Housing(SUS304／SUS316) 整体系统引进，国内产品目前无验证资料
190 活性碳过滤塔(碳钢／不锈钢316／不锈钢304，内衬橡胶) AC Tower(CS／CS Rub-ber Lining／SUS316／SUS304) 整体系统引进，国内产品目前无验证资料
191 离子交换树脂塔(碳钢／不锈钢316／不锈钢304，内衬橡胶)及其相关配件 Ion Exchange Tower(CSRubber Lining／SUS316／SUS304) 整体系统引进，国内产品目前无验证资料
192 超过滤膜及其相关配件 Accessory 国内无符合技术标准、型号产品
193 监控系统(不含微机和外没) SCADA System 国内无生产，整体系统引进
194 搅拌机 Agitator 用于化学药品搅拌及废水处理槽搅拌，氟系废弃物处理，以加强处理效果，国内无生产(硬件)，整体系统引进／国内产品目前无验证资料
195 搅拌机相关配件 Accessory 国内无符合技术标准、型号产品
196 自动溶解泡药装置 氧化铝加水成氢氧化铝后沉淀用，国内无符合技术标准、型号产品
197 污泥饼机(压滤机) Filter Press 用于氟系废弃物处理，氟化钙淤泥脱水使其污泥干燥度达处理水平，国内无生产，国内产品目前无验证资料
198 紫外线杀菌灯单元模块 TOC UV Unit 国内无生产，整体系统引进
199 安定器 Ballast 紫外线杀菌灯单元模块配套元件(硬件)，国内无符合技术标准、型号产品
200 O型环 O Ring 密封圈，材料为橡胶、偏氯二氟乙烯聚二氟乙烯、丁氰橡胶等，国内无符合技术标准、型号产品
201 臭氧产生器 O Generator 国内无生产，整体系统引进
202 管路集散器 Distributor 国内无符合技术标准、型号产品
203 减震模块 Virbaration 国内无生产，整体系统引进
204 桶槽呼吸单元模块 Breather Unit 国内无生产，整体系统引进
205 液体，气体的测量或检验装置及其零配件 Flow Meter(SUS304／SUS316，Ultrasonic) 国内无生产，整体系统引进
206 气体侦测模块 Gas Detector 国内无生产，整体系统引进
207 呼吸器快速接头 BA Quick Coupling 国内无符合技术标准、型号产品
208 空气室 Air Chamber 国内无符合技术标准、型号产品
209 离子交换树脂再生塔不锈钢316／304，碳钢橡胶内衬 Ion Exchange Tower(CSRubber Lining／SUS316／SUS304) 国内无符合技术标准、型号产品
210 人机界面(用于监控系统现场设备)软件 Man Machine-interface 监控系统现场设备的连接装置，是一种组态软件，国内无符合技术标准、型号产品
211 压缩空气系统干燥机 CDA Dryer 国内无符合技术标准、型号产品
212 真空传感器 Vacuum Detector 国内无符合技术标准、型号产品
213 超洁净化学品供应单元 Supply Unit(Ｎ2 Pressure & Pumping Type) 国内无符合技术标准、型号产品
214 超洁净化学品浓度稀释单元 Dilution Unit 国内无符合技术标准、型号产品
215 超洁净化学品注入单元 Charge Unit 国内无符合技术标准、型号产品
216 化学废品收集单元 Waste Collection Unit 国内无符合技术标准、型号产品
217 气体分配箱及阀件 Valve Manifold Box，Valve，Regulator，Filter and Pressure Trans-ducer 国内无符合技术标准、型号产品
218 气体监控及侦测防护系统(含监视器、光纤、光缆，不含微机和外设) Gas Monitoring System 国内无符合技术标准、型号产品
219 特种气体纯化及监测装置(含监视器、光纤，光缆) Specialty Gas Purifierand Monitor 国内无符合技术标准、型号产品
220 监控系统及可编程控制器(含监视器、光纤、光缆，不含微机和外设) Monitoring System 国内无生产
221 纯水枪 DIW Gun 国内无符合技术标准、型号产品
222 氮气枪 Ｎ2 Gun 国内无符合技术标准、型号产品
223 化学品防漏膜片特氟龙、316低碳不锈钢 国内无符合技术标准、型号产品
224 加热带(金属材料、特种塑料) Heater Line／HeaterTrace 国内没有生产
225 加热外套(金属材料) Heat Jacket 用于气瓶加热提高蒸发量，不锈钢材料，国内没有生产
226 空气呼吸器系统含有带镜架防毒面具(硅胶材料)，压缩空气气瓶(不锈钢或碳纤材料)，及上述设备连接管及配件(不含微机和外设) Breath Air System 国内没有生产
227 累计器 Accumulator 国内无符合技术标准、型号产品
228 冷凝器 Cooler 国内没有生产
229 铝合金电缆槽 Aluminum Cable Tray 外表有烤漆，防尘、防静电、防化学品腐蚀、防产生微粒，国内无符合技术标准、型号产品
230 末端阀箱 End Box 国内产品目前无验证资料
231 火焰警报器，压力表及废气排放管(不锈钢内涂树脂)，消防水管(不锈钢)，仪表控制用气体连接管(不锈钢或特氟龙管)等 Gas Cabinet 国内没有生产
232 气体分配箱内含不锈钢外壳和支架，气体输送分配盘及废气排放管(不锈钢内涂树脂)，仪表控制用气体连接管(不锈钢或特氟龙管)等 国内没有生产
233 钢瓶紧急泄露处理车 Emergency Response Containment Vessels forLeaking Cylinders 国内没有生产
234 氧化，金属及铜工艺研磨液供应系统(不含微机和外设) Oxide，Cu Process & Metal Dilution & SupllyUnit 国内无符合技术标准、型号产品
235 化学门感应器 Door Sensor 国内无符合技术标准、型号产品
236 紫外线感应器 UV Sensor 国内无符合技术标准、型号产品
237 泄漏测量器 Leak Detector 国内无符合技术标准、型号产品
238 随身携带呼吸器件(SCBA空压机) 一种空气系统，国内无符合技术标准、型号产品
239 超级过滤膜及外壳(高洁净高强度工程塑料、超洁净不锈钢) 国内无符合技术标准、型号产品
240 超级过滤器及外壳(高洁净度、高强度工程塑料) 国内无符合技术标准、型号产品
241 不锈钢管及连接件、抗压力指数大于等于4公斤的钢管、膨胀节 国内无符合技术标准、型号产品
242 化学品过滤系统用零配件 国内无符合技术标准、型号产品
243 机械轴封(配件) 国内无符合技术标准、型号产品
244 随身携带呼吸器件(SCBA空压机)备用气瓶 Back-Up Gas Cylinder of SCBA 由阻燃材料制成，于灾害状况下，提供呼吸空气
245 化学品泄漏处理对象、器材及防护衣 Chemical leakage Special Material 处理化学品泄漏时防护及处理器材
246 可燃／毒性物防爆箱 Chemical TemporaryStorage 储存腐蚀性及易燃液体
247 自动灭火喷淋系统(不含微机和外设) Sprinkler System 净化室消防灭火用，需FM认证
248 消防(火灾)防护防害器材及防护衣物 Fire Fighting Protection Material 消防灭火的防护衣服手套等
249 全套自供式呼吸器(含碳纤气瓶) Self Container BreathingAparatus(SCBA) 由阻燃材料制成，于灾害状况下，提供呼吸空气
250 磁簧感应器、红外线对照私侦测器、主机及控制器、路由器等 Access System 在事故发生时通过门禁系统来掌握及控制无尘室等人员出入
251 磁力锁 Electric Lock 在事故发生时通过门禁系统来掌握及控制无尘室等人员出入
252 寻址式火警控制盘、相应模块 Addressable Fire AlarmControl Panel & Module 火灾侦测报警用，国内无符合技术标准、型号产品
253 无尘室用二氧化碳灭火器 ＣＯ2 Fire Extinguisher 消防灭火用，国内无符合技术标准、型号产品
254 二氧化碳系统(含钢瓶，喷头，烟感器，控制盘，不含微机和外设) ＣＯ2 System 消防灭火用，国内无符合技术标准、型号产品
255 防爆型摄像头、高分辨率摄像头 CCTV System 监视无尘室等运行状态，通过闭路监视系统来预防及处理发生相关事件
256 防火／防烟风门 Fire Stop，Fire／Smoke Damper 消防系统用，国内无符合技术标准、型号产品
257 感应读卡机 Proximity Card Reader 在事故发生时通过门禁系统来掌握及控制无尘室等人员出入
258 高压气瓶泄漏处理设备储备器材 Coupressed Cylinder Leakage Treat Equipment 国内无符合技术标准、型号产品
259 画面处理单元 Drawing Handle Unit 监视无尘室等运行状态，作画面处理(如分隔和警报)，通过闭路监视系统来预防及处理发生相关事件
260 环境安全管理监视系统[含影像接收，处理，记录系统、监控器、光纤、光缆，(不含微机和外设)) Monitoring System(Including Video Receiving，Processing，Recording System) 国内无符合技术标准、型号产品
261 回路控制单元 Loop Control Unit 监视无尘室等运行状态，通过闭路监视系统来预防及处理发生相关事件
262 回路控制器 Loops Controller 火警广播用，国内无符合技术标准、型号产品
263 火警报警，(广播)系统(感应，灭火逃生警报单元，控制单元，不含微机和外设) Fire Alarm，PublicAddress System(De-tection，Alarm Unit) 火灾侦测报警用，需FM认证
264 火警矩阵主机(连动门禁、电梯、排烟及广播系统) Fire System MatrixLink 火灾侦测报警用，国内无符合技术标准、型号产品
265 极早期火警警报系统(不含微机和外设) Very Early Smoke Detection System 洁净车间火灾侦测报警用，需FM认证
266 紧急广播主控器、相应模块及附件 Emergency P.A.Main Controller & Module 火警广播用，国内无符合技术标准、型号产品
267 紧急洗眼及冲淋器具 国内无符合技术标准、型号产品
268 警报输入／输出(I／O)界面(用于门禁系统) Alarm I／O Interface 一种组态软件，在事故发生时通过门禁系统来掌握及控制无尘室等人员出入
269 空气采样管(特种塑钢) Air Sampling Piping ABS(丙烯腈－丁二烯－苯乙烯三元共聚物)塑钢本身不产生尘粒和化学物质用于净化厂房中
270 空气采样系统主机、相应模块及附件 Air Sampling Smoke Detector，Main Machine 本身不产生尘粒和化学物质用于净化厂房中
271 门禁管理系统(不含微机和外设) Access Control Alarm System (Accessory)(Control Unit) 有专用通讯协议，可接多个接口模块，且可管理数万个持卡者，国内无符合技术标准、型号产品
272 泡沫灭火系统(含泡沫桶，控制盘，不含微机和外设) Foam Extinguish System 消防灭火用，国内无符合技术标准、型号产品
273 网络接口组件、图控压缩软件(用于火灾探测报警用／火警广播) Network InterfaceUnit，Graphic Compress Software 火灾探测报警用／火警广播用，国内无符合技术标准、型号产品
274 网络界面设备及附件 Network Interface Unit 本身不产生尘粒和化学物质用于净化厂房中
275 视觉信号装置零备件 System Accessories 火灾探测报警用，国内无符合技术标准、型号产品
276 消防组配件(洒水头，泡沫头，压扣开关，蜂鸣器，阀，扳手，防震支撑…) Fir Protection System Accessories(SprinklerHead，Foam Head，Emergency Push Botton，Speaker…) 消防系统，国内无符合技术标准、型号产品
277 信号收集单元 Signal Collect Unit 一种监视器，国内无符合技术标准、型号产品
278 烟感及温感器 SmokeDetector 火灾探测报警用，国内无符合技术标准、型号产品
279 安全保护器具 Safety Protection Equipment 由阻燃材料制成，于灾害状况下，提供呼吸空气，需FM认证
280 厂务监控系统(不含微机和外设) Facility Management & Control System 整合所有厂务系统进行监控，以确保净化室稳定生产
281 编程工具 Programming Tools 用洁净室监控器作网络重新测试和故障确认，整合所有厂务系统进行监控，以确保洁净室稳定生产，国内无符合技术标准、型号产品
282 监控器与监控盘体(含监视器) Controller and ControlPanel 整合所有厂务系统进行监控，以确保净化室稳定生产，国内无符合技术标准、型号产品
283 输入／输出监控工作站(不含计算机) I／O Control Workstation 中控室监控站，监控净化室温度、湿度、压力、流量及警报，整合所有厂务系统进行监控，以确保净化室稳定生产，国内无符合技术标准、型号产品
284 网络设备(不含计算机) Neworking Device 工业级Etchmet Kingbus网络确保净化室监控网络的稳定，整合所有厂务系统进行监控，以确保净化室稳定生产，国内无符合技术标准、型号产品
285 数据库应用工具 Database ApplicationTools 整合所有厂务系统进行监控，以确保净化室稳定生产，国内无符合技术标准、型号产品
286 专用测试系统(不含微机和外设) Special Instruments forClean Room 国内无符合技术标准、型号产品
287 静电监测系统(不含微机和外设) 国内无符合技术标准、型号产品
附件2：
部分集成电路生产企业免税进口集成电路生产设备零、配件商品目录
序号 设备类型 英文名称(企业参考) 设备零、配件 零、配件税则号列
1 化学机械研磨设备 CMP 研磨(二氧化硅、多晶硅、浅沟槽、铜研磨、钨研磨)设备配件(化学机械研磨机) 84799090／84669300
2 Defect lnspection／Back OrderFor RT8800 Automatic Reticlelnspection System／MaskParticle & Pellicle DefectionSystem 缺陷测试设备配件(缺陷检测仪)／自动缺陷检查仪／缺陷分析仪／缺陷检测仪(排气管接口)／光罩颗粒／薄膜缺陷检测系统配件 90299000／90319000
3 Particle Counter 颗粒计数仪配件／粒子计数器配件 90299000／90309000
4 Profiler 剖面测量仪配件(高精度表面凸凹检测仪) 90309000
5 表面轮廓仪配件 90309000
6 Wafer Sort 晶圆分类机设备配件 84799090
7 扩散设备 RTA 快速热退火炉—热退火设备配件(快速热处理器) 85149090
8 Sheet Resistance 电阻量测仪配件／层电阻测定仪配件／比电阻测定仪配件 90309000／90319000
9 Surface Charge Analyzer 表面电荷分析仪配件 90279000
10 VF LPCVD 低压化学气相沉积炉管配件 84859000／84799090／84799090
11 VF Poly Oxide／Anneal 常压垂直炉管(包括退火、干燥、合金化、膜生长垂直炉管)配件 85149090
12 Parts for Vertical Furnace 氧化机配件 84199090
13 IPI 高温燃烧废气处理设备配件 84199090
14 Vacuum Pump 真空泵配件／干泵配件／生产真空泵配件 84149090
15 Tube Cleaner 炉管清洗设备配件／炉管清洗机配件／炉芯管清洗机配件 84219990／85149090
16 Dry Scrubber 干式清洗设备配件(清洗机) 84199090
17 Parts Cleaner HF 零件清洗机配件 84249090／84219990／85439090
18 静态老化炉配件 84179090
19 数字器件标准老化炉配件 85149000
20 单晶硅外延炉配件 84179090
21 老化炉配件 85149000
22 扩散炉配件 85149090
23 聚酰胺烘陪炉配件 85149090
24 氮气处理配件 85149090
25 椭圆仪配件 90319000
26 扩散用工夹具清洗机／化学气相沉积用工夹具清洗／工夹具有机清洗装置配件 85149090／84799090／84669300
27 温度控制器配件 90329000
28 化学气相沉 温度分布测定机配件 90319000
29 积／薄膜设备 除害装置配件 84219990
30 四乙氧基硅烷(TEOS)供给系统配件 84799090
31 磷浓度测定仪配件 90269000
32 尘埃检查仪配件 90309000
33 粒子监视系统配件 90309000
34 供气系统／气体供给系统配件 84799090
35 气体精制机(氮气)配件 84219990
36 涡轮分子泵／低温泵配件 84139100
37 特性检查配件 90319000
38 气体泄漏监视系统配件 90269000
39 气体集中供给装置配件 84799090
40 CIF3废气吸附装置配件 84219990
41 聚酰亚胺烘焙配件 84799090
42 薄膜设备 FTIR 傅力叶红外线检测仪配件(量测仪) 90319000
43 PVD 物理气相沉积设备(仪)配件 84219990
44 CVD 化学气相沉积设备(仪)配件／化学气相沉积设备／高密度等离子化学气相沉积／亚大气压化学气相沉积配件 84219990／84799090
45 SMIF ARM 标准机器界面设备配件(晶片上料机) 84859000
46 SMIF 小型无尘室配件 84219990
47 Parts Cleaner 工艺配件清洗设备(包括石英管、片架、片盒、晶盒掩模版等)配件(零件清洗机)(清洗机) 84249090／84219990
48 擦片机配件／化学机械抛光擦片机配件／浅沟道隔离化学机械研磨擦片机／双面擦片机配件 84799090／84669100
49 Waste Gas Treatment(Induding Local Scrubber，Burn Tube，Cool Trap…) 工艺废气处理设备配件(高温燃烧废气处理设备) 85149090
50 Stress Measurement SystemParts 应力测量仪配件／应力测定仪配件 90309000／90269000
51 Sputter 溅射设备配件 84799090
52 Vapor HF 气相清洁设备配件 84799090
53 XRF X射线测量仪配件(X射线晶片分析仪) 90309000
54 Cu Plating 铜电镀机配件 84799090
55 Wafer Transfer System Parts 晶盒运输设备配件 84859000／84799090
56 Wafer Scrubber System Parts 晶片清洗设备(清洗机)(清洁机)(硅片清洗机)(清洗过滤机)配件 84219990
57 Liquid Delivery System Parts 自动供液系统(输送机)配件 84859000
58 Sheet Resistance MeasurementSystem and Parts 阻抗量测仪器及配件 90309000
59 ESD TLP System 静电测试系统配件 90309000
60 金属化 溅射台配件 84799090
61 段差测定仪配件 90319000
62 表面反射率计配件 90319000
63 真空烘箱／烘箱／HT烘箱配件 85149090／85149000
64 固化烘箱／塑封固化烘箱配件 84779000
65 喷砂机配件 84249090
66 干燥机／版盒干燥机配件 85149090
67 萤光X线分析装置配件 90319000
68 干法蚀刻 Corner Rounding 倒角设备配件 84669300
69 Metal／W Etchback Etch 金属／钨回蚀设备配件 84669300
70 Microscope／Wafer Loader 光学显微镜／硅片承载器配件 90119000
71 Etch-Spacer 衬垫蚀刻设备配件 84669300
72 Opticstation 光学检测设备配件 90319000
73 Etch 蚀刻设备配件(刻蚀机)／电浆蚀刻机配件／干式蚀刻机(铬膜和半透膜)配件／反应离子刻蚀仪配件／反应离子刻蚀系统配件／背面多晶刻蚀机配件／研削用背面刻蚀机／等离子刻蚀机配件 84669300／84669300
74 Plasma Clean 等离子体清洁设备配件 84799090
75 Resist Strip 去胶机／等离子去胶机／酸去胶机配件 84219990／84799090／84669300／84669300
76 SN De-Polymer 高分子聚合物去除设备配件 84799090
77 UV Curing-MET 紫外线固化(金属)设备配件 84799090
78 回刻机配件 84669300
79 气体泄漏监视装置配件 90269000
80 工夹具水洗装置配件 84669300
81 工夹具干燥装置／化学气相沉积用工夹具干燥配件 85149090／84799090
82 研磨设备 Backside Grindcr／Polisher 晶片背研磨机(研磨机)配件 84799090／84669300
83 Backside Thickness Measurement 背面测厚仪配件 90269000
84 Detape 去膜机配件／卸膜机配件 84799090／84669300
85 Tape 贴膜机配件 84799090／84669300
86 离子注入没备 Dose Measurement 剂量测量设备配件 90289010
87 Current IMP 离子注入设备配件(高速流、高能量) 85439010
88 离子注入设备配件(中速流) 85439010
89 喷砂机配件 85439090
90 光罩生产设备 AIMS Metrology System 空间影像模拟系统配件 90089090
91 Auto Pellicle Mounting Sys-tem 自动防尘保护膜系统配件 84799090
92 CD Metrology System 微距量测系统配件 90179000
93 Goater & Hot Plate 镀膜机配件 84799090
94 FIB Reticle Repair System 聚焦离子束光罩修补系统配件(光罩修补系统) 90279000
95 Film Thickness MeasurementTool 薄膜厚度量测机(测量仪器)／膜厚测定仪／厚度仪配件 90309000／90319000
96 Laser Beam Writing 扫描式(步进式、电子束、镭射束)曝光机配件 90109090
97 镭射束(电子束)曝光机配件(镭射刻读机)配件 84799090
98 Laser Reticle Repair System 镭射光罩修补系统
